众诚达应用材料公司 图 、溅射靶材厂家、溅射靶材

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靶材的性能要求

       靶材制约着溅镀薄膜的物理、力学性能，影响镀膜质量，因而靶材质量评价较为严格，广东溅射靶材，主要应满足如下要求；

1)杂质含量低，纯度高。靶材的纯度影响薄膜的均匀性。

2)高致密度。高致密度靶材具有导电、导热性好、强度高等优点，使用这种靶材镀膜，溅射功率小，成膜速率高，薄膜不易开裂，靶材使用寿命长，而且溅镀薄膜的电阻率低，透光率高。

3)成分与组织结构均匀。靶材成分均匀是镀膜质量稳定的重要**。

4)晶粒尺寸细小。靶的晶粒尺寸越细小，溅射靶材厂家，溅镀薄膜的厚度分布越均匀，溅射速率越快。正因为靶材在性能上有上述诸多特殊要求，导致其制备工艺较为复杂。

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